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  1. 微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN

  2. 研究了微波电子回旋共振-化学气相沉积SiNx薄膜的光学性能,这种SiNx薄膜具有透光谱宽、透光率高的特点,总结了透光谱、折射率、光隙能随微波功率、基片温度的变化关系。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：763kb
    • 提供者：weixin_38641876