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搜索资源列表

  1. 伊力诺依大学 Nicholas X. Fang 教授的微纳加工的课件

  2. 一个关于微纳加工的课件，讲了微纳加工的发展、光刻、力学、热学、摩擦等等。不错的，值得看

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-05-14
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：hill_cheung

  1. 基于呼吸图案法的微纳加工技术进展

  2. 基于呼吸图案法的微纳加工技术进展，苏丹，张晓阳，呼吸图案是在固体或液体表面形成水雾的现象，呼吸图案法是利用呼吸图案作为模板构筑微纳结构的方法。相比传统的微纳加工方式，呼

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-02-12
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38612095

  1. 基于微纳结构电极的超级电容器研究

  2. 基于微纳结构电极的超级电容器研究，王晓峰，尤政，微型超级电容器是一种基于MEMS微加工工艺和电化学赝电容原理的微型储能器件。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）和溅射等MEMS微�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-01-11
    • 文件大小：654336
    • 提供者：weixin_38725086

  1. 基于飞秒激光加工的微纳高温光纤振动传感器

  2. 基于飞秒激光加工的微纳高温光纤振动传感器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-02
    • 文件大小：698368
    • 提供者：weixin_38661236

  1. 超短脉冲激光微纳加工技术

  2. 随着激光技术的发展，激光器件向着超短脉冲、超高强度、超短波长的方向迈进，这给激光材料加工带来了革命性的进步。近年来超短脉冲激光精密加工越来越得到人们的关注。这主要体现在超短脉冲激光加工可以得到高于长脉冲激光加工的精度，最高可以达到亚微米甚至纳米。另外超短脉冲激光除了可以进行材料表面的加工，还能够实现对透明材料内部的加工与改性。适用于其他加工方法无法实现的高精度、复杂形状元器件的加工，实现真三维、可设计、可集成。超短脉冲激光的瞬间功率极大，可以和几乎任何材料相互作用，因而可用于激光加工的材料几乎不

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38680340

  1. 基于整形飞秒激光脉冲的三维微纳制备(特邀综述)

  2. 飞秒激光脉冲加工具有热效应小、加工精度突破衍射极限、三维内部加工能力等特性, 在微纳制备领域独具优势。综述了利用飞秒激光脉冲整形技术结合飞秒激光三维直写进行透明介质中微纳制备的最新进展, 这些技术有望在新型集成光学和微纳光学中发挥重要的作用。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-22
    • 文件大小：9437184
    • 提供者：weixin_38739942

  1. 用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究

  2. 该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-21
    • 文件大小：360448
    • 提供者：weixin_38631978

  1. 多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响

  2. 多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-20
    • 文件大小：614400
    • 提供者：weixin_38530846

  1. 基于光子晶体光纤飞秒激光放大器的微纳加工系统

  2. 以掺镱大模面积光子晶体光纤(PCF)飞秒激光放大器为光源组建了一套结构紧凑且运行稳定的飞秒激光微纳加工系统,中心波长为1040 nm, 重复频率50 MHz, 最大平均功率16 W, 光栅压缩后脉冲宽度85 fs。利用该套系统在硅片、金属薄膜(Cr膜、Al膜)上演示了微图案的刻划, 并与采用重复频率1 kHz的固体钛宝石飞秒激光放大器的加工结果进行对比, 发现利用新组建的加工系统进行微纳加工, 由于单脉冲能量较小且便于调节, 使得刻划微图案时边缘加工效果更容易控制, 且避免了加工过程中未加工区域

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38702417

  1. 硅基微纳光波导损耗特性的表征技术

  2. 微纳光波导的基本功能是实现光波的低损耗传输, 是芯片光互连的基础, 其传输损耗是评价微纳光波导加工质量和传输性能的基本指标。微纳光波导由于其尺寸比常规光波导小1～2个数量级, 光耦合的难度和不确定性都很大, 造成传输损耗的测量相对困难。探讨了可用于微纳光波导传输损耗测试表征的几种方法, 包括截断法、法布里-珀罗(Fabry-Pérot,F-P)腔谐振谱条纹对比度分析法、傅里叶(Fourier)变换法等, 对上述方法在测试精度、适用条件方面进行了分析对比。研究表明, 截断法受光纤耦合不确定性的影响

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38605590

  1. 中红外波段及飞秒微纳加工微透镜在双光子荧光成像中的应用进展

  2. 中红外波段及飞秒微纳加工微透镜在双光子荧光成像中的应用进展

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-09
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38751512

  1. 飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响

  2. 微孔加工是微器件加工中的重要环节，飞秒激光的强烈非线性吸收和“冷加工”特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料，研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明，飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响。随着激光能量和打孔速度的增加，微孔深径比均呈现减小趋势。通过选择适当参数，可以获得深径比大于25∶1 且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔。为了获得更好的聚焦效果，采用倍频晶体BBO 获得了400 nm 波长的飞秒激光。用相同聚焦透镜时400 nm 飞秒

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-07
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38697940

  1. 纳秒激光诱导铝板表面超疏水微纳结构

  2. 提出了一种利用纳秒光纤激光快速制备超疏水铝板表面的方法, 对样品表面的接触角和粗糙度进行了测量。烘烤处理激光加工后的样品, 得到了一系列具有不同润湿性能的铝板表面, 增加激光能量密度可得到超疏水表面。研究结果表明, 增加激光能量密度除了能提高铝板表面的粗糙度, 还会形成明显的微纳二级结构; 空气占铝板超疏水复合接触面总面积的90%以上; 纳秒激光诱导铝板超疏水表面是微纳结构和化学成分共同作用的结果。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-07
    • 文件大小：4194304
    • 提供者：weixin_38611527

  1. 基于飞秒激光微纳加工技术制备的光纤布拉格光栅的带宽特性

  2. 理论和实验上研究了利用飞秒激光微纳加工技术制备的广义高斯切趾光纤布拉格光栅（FBG）的带宽特性。模拟结果表明，FBG带宽随着折射率调制度的增大而增大，随着光栅长度的增大先减小后趋于饱和。利用飞秒激光相位掩模法制备FBG的实验结果表明，当飞秒激光功率较小时，随着激光功率的增加，FBG带宽基本不变；激光功率超过一定阈值，FBG带宽随着激光功率的增大而逐渐增大。曝光时间较短时，FBG带宽随曝光时间的增加而急剧增大；随着曝光时间的继续增加，FBG带宽逐渐趋近于饱和。FBG带宽随着飞秒激光功率和曝光时间的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38632916

  1. 飞秒激光微纳加工： 从修饰改性到功能结构

  2. 近年来，利用飞秒激光对材料进行加工、改性越来越受到人们旳关注。这主要体现在飞秒激光加工可以得到高于连续波激光以及长脉冲激光加工的精度，最高可以达到亚微米甚至纳米。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：6291456
    • 提供者：weixin_38559727

  1. 基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工

  2. 介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理，回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用，并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结，并指明了未来的研究方向。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-04
    • 文件大小：13631488
    • 提供者：weixin_38649356

  1. “超快激光加工与微纳制造”专题 前言

  2. 激光制造技术历经多年的研究发展，涵盖了以激光表面工程、激光焊接、激光切割、激光制孔、激光标记、激光增材制造等为代表的宏观制造技术，以激光微焊接、激光精密切割、激光精密钻孔、激光烧蚀等为代表的激光微加工技术，和以飞秒激光直写、双光子聚合、干涉光刻、接触离子透镜序列、激光诱导表面纳米结构和纳米颗粒激光制备等为代表的激光微纳制造技术等广泛的研究领域，跨越了毫米、微米和纳米多个尺度，成为举足轻重的先进制造核心技术，必将在“中国制造2025”进程中发挥不可缺少的作用。在上述众多的研究方向之中，激光增材制造

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-26
    • 文件大小：203776
    • 提供者：weixin_38536841

  1. 飞秒激光微纳制造水下气体浸润性表面

  2. 水下气体浸润性表面在许多领域都具有重要的作用,近年来受到了各国研究人员的密切关注。飞秒激光微纳制造技术作为一种全新的非接触式加工手段,近年来在调控材料表面水下气体浸润性方面进行了许多探索性研究。总结飞秒激光微纳制造技术在水下气体浸润性表面的最新研究进展,从水下超疏气表面、水下超亲气表面、水下超疏气-超亲气转换以及水下气体运输四个方面进行阐述,最后结合当前的研究状况指出该领域目前所存在的问题以及对前景的展望。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-26
    • 文件大小：11534336
    • 提供者：weixin_38618024

  1. 激光微纳制造在传感领域中的应用

  2. 物联网和可穿戴器件的快速发展对传感器的制备和性能提出了更高的要求。由于加工速度快、精度高、可控性强、易集成、与材料兼容性高等优点,激光微纳制造已逐渐成为一种流行的材料制备和器件加工技术。通过激光诱导加热、反应和分离这三种激光加工方式实现了对不同材料的激光处理,这为传感器的制备奠定了基础。近年来,研究人员利用激光微纳加工技术制备了应用于紫外线、气体、湿度、温度、应变/应力、生物、环境等信号监测的不同传感器。总结和归纳了目前存在的问题,展望了激光微纳制造在传感领域中的发展方向。希望文中对激光微纳制造

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-25
    • 文件大小：37748736
    • 提供者：weixin_38613681

  1. 基于激光干涉烧蚀的硅表面微纳结构制备研究

  2. 基于纳秒激光双光束干涉烧蚀技术,辅助利用湿法腐蚀技术,并结合时域有限差分法,从实验和理论上分析研究了硅表面不同周期微纳结构的制备和形成机制。结果表明:波长为355 nm的纳秒激光,可在硅表面干涉烧蚀出600 nm以上周期的微纳结构;结构深度随功率或曝光时间的增加而加深,最大深度可达到激光的趋肤深度约50 nm;结构周期在曝光时间大于5 s时发生劈裂减半,最小可以得到300 nm的周期;通过时域有限差分(FDTD)的理论模拟发现,已形成结构对干涉光场的调制是结构劈裂的最主要原因。这些研究将在表面周

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-25
    • 文件大小：7340032
    • 提供者：weixin_38500709
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