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  1. 超大规模集成电路微细加工技术.rar

  2. 这里陆续介绍几本关于超大规模集成电路的书籍，希望对您的学习有帮助。

  3. 所属分类：专业指导

  1. 超大规模集成电路微细加工技术.rar.rar

  2. 超大规模集成电路微细加工技术.rar. rar

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-11-23
    • 文件大小：4mb
    • 提供者：lzuzhp06

  1. 超大规模集成电路微细加工技术.rar.rar

  2. 超大规模集成电路微细加工技术.rar. rar

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-11-23
    • 文件大小：4mb
    • 提供者：lzuzhp07

  1. 超大规模集成电路微细加工技术

  2. 光致抗蚀剂，电子束抗蚀剂的物理化学。最近微细加工用的光致抗蚀剂材料。光掩模。光刻蚀技术。电子束刻蚀技术。X射线刻蚀。位置控制。离子腐蚀。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-01-12
    • 文件大小：6mb
    • 提供者：ccfx123

  1. 超大规模集成电路微细加工技术.pdf

  2. 超大规模集成电路微细加工技术.pdf，欢迎学习与交流。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-01-15
    • 文件大小：6mb
    • 提供者：zgbailebao

  1. 超大规模集成电路微细加工技术

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  3. 所属分类：嵌入式

    • 发布日期：2011-07-26
    • 文件大小：6mb
    • 提供者：jg_ben

  1. 微机械与微细加工技术_10475249.rar

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  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2008-06-12
    • 文件大小：3mb
    • 提供者：bluevox3000

  1. 微细加工习题答案

  2. 电子科技大学，微细加工与mems课程的习题答案！欢迎大家下载

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2018-01-19
    • 文件大小：459kb
    • 提供者：xiaotao_1

  1. 微机械与微细加工技术.rar

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  3. 所属分类：其它

  1. 微细电火花加工技术

  2. 微细电火花加工技术，余祖元，郭东明，微细电火花加工（Micro Electrical Discharge Machining, Micro EDM）作为微细加工技术的一种，可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-02-13
    • 文件大小：965kb
    • 提供者：weixin_38750406

  1. 微细加工发展趋势

  2. 这是我们通过学习先进制造技术通过查资料之后写的论文，不妥之处，大家多谅解

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2012-10-21
    • 文件大小：284kb
    • 提供者：qhd1002959246

  1. 机械微细加工辅助用超声振动台的设计

  2. 基于一维纵向振动理论,利用理论解析法设计了机械微细加工辅助用振动平台。利用有限元软件进行优化设计,确定了圆锥段的最佳开槽数量和圆柱段的最佳开狭缝数量,改善了工作面的振幅分布均匀性,增大了工作面的振幅;增加圆锥段的长度以减小振动平台的谐振频率,通过有限元分析,研究了振动平台的谐振特性,满足工程应用的要求,验证了设计方法的可行性。为大尺寸振动体的设计提供了一种简便的方法。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-06-20
    • 文件大小：296kb
    • 提供者：weixin_38592134

  1. 使用微细加工技术 可使LED亮度翻倍

  2. 日本王子控股公司宣布，确立了使用微细粒子精密涂装技术的微细加工技术，并成功使LED及有机EL元件的亮度提高了一倍。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-28
    • 文件大小：168kb
    • 提供者：weixin_38588854

  1. 工业电子中的探讨微机器人技术在超精密加工上的应用

  2. 1、引言 　　随着产品质量要求的不断提高，以精密加工、微细加工和纳米加工等为代表的精密工程越来越引起人们的关注。通常我们把被加工零件的尺寸精度和形位精度达到零点几微米，表面粗糙度低于百分之几微米的加工技术称为超精密加工技术。超精密加工目前就其质来说是要实现以现有普通精密加工手段还达不到的高精度加工，就其量来说是要加工出亚微米乃至毫微米级的形状与尺寸赖皮并获得纳米级的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密加工一段要视零件大小、复杂程度以及是否容易变形等因素而定。超精密加工主要包括超精密切削（车

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：97kb
    • 提供者：weixin_38725086

  1. 通过激光微细加工获得生物启发的润湿表面

  2. 具有生物启发性的特殊润湿性，包括超疏水性和可调节的粘合力，由于其在基础研究和实际应用中的巨大潜力而​​备受关注。 这篇综述总结了通过激光微细加工开发生物启发性润湿表面的最新进展，重点是可控制的，仿生的和可切换的润湿表面，以及它们在生物学，微流体和纸基设备中的应用，所有这些都证明了这一点。激光微细加工制造各种多尺度结构的能力及其在多种材料中的适应性。 特别是，与其他技术相比，激光微加工无需氟化就可以实现从超亲水到超疏水的特殊调制，从而获得了更大的自由度，可以实现复杂的多润湿性集成。 这个快速发展领

  3. 所属分类：其它

  1. 双光子聚合外齿轮组微加工

  2. 文章介绍了用自制双光子聚合加工系统对不同曝光时间下的外齿轮组的微加工成型性进行了研究。在photomer3015 材料内实现了外齿轮组的双光子聚合微加工, 通过扫描电镜(SEM)分析了外齿轮组的微观形貌。结果表明，随着曝光时间的增加，齿轮组成型性变得较好；曝光时间增加时，总加工时间增加。当激光功率为0.3 mW，曝光时间为10 ms 时，成功实现了齿厚为2 mm、分辨率为1.0 mm 的外齿轮组的双光子聚合微细加工。

  3. 所属分类：其它

  1. 激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统

  2. 在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量.而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法.研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量.系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流,再经信号放大及模/数转换后输入计算机.结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值.系统的温度分辨率可达到0.2℃, 测量区域的最小直径可达到18 μm.同时设计了搜索

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：138kb
    • 提供者：weixin_38732425

  1. 基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器

  2. 设计了一种新工艺――利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀(deep-RIE)再结合EPW湿法刻蚀(一种各向异性刻蚀技术)。由于EPW湿法刻蚀对〈110〉面刻蚀速率较慢,可制作出具有光学镜面的侧壁〈110〉的硅模具,利用此模具可复制出正方形固态染料微谐振腔。以激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)为工作物质,在调Q Nd∶YAG自倍频激光532 nm抽运下,得到

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：582kb
    • 提供者：weixin_38563552

  1. 基于一种新微细加工技术的亚波长光栅的研制

  2. 描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术,即电子束(EB)扫描曝光得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用快速原子束刻蚀设备获得了高深宽比的立体结构.用此加工技术获得了100 nm以下的刻蚀精度,并研制成功亚波长光栅.该亚微米线宽微细加工技术可用于布拉格光栅、半导体激光器、无反射表面等需要亚微米结构的器件中.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：184kb
    • 提供者：weixin_38605801

  1. 单片光电集成电路的激光微细加工装置的改进

  2. 将激光微细加工“直接写入”、“低温处理”的优势,应用于单片光电集成电路(OEIC)的制作,有利于解决其中的光电兼容问题。详细介绍了本课题组多年来在激光微细加工制作领域方面所取得的进展,完善了实验系统,包括硬件平台的搭建和改进、软件的设计,并最终形成了以计算机为核心的集光机电为一体的自动控制系统,减少了由于人为因素的影响而带来的实验误差,为激光微细加工制作出性能优越的器件创造了前提条件。同时对激光微细加工中的温度这一关键工艺参数进行了大量的理论分析和实验研究,主要包括温度的测量、温度变化规律的分析

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：673kb
    • 提供者：weixin_38714641
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