基于电火花的大数据分析计算，人工智能，云计算的电火花

微细电火花加工技术，余祖元，郭东明，微细电火花加工（Micro Electrical Discharge Machining, Micro EDM）作为微细加工技术的一种，可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三�

一种新型的低成本、小体积的电磁驱动微机电系统可调光衰减器,可用于密集波分复用系统中各信道的动态增益平衡。该器件采用电磁线圈驱动绕100微轴转动的微反射镜,运动部件行程极小。驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间小于2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB。器件采用微细电火花加工技术制作,加工精度为微米量级,技术成熟,工艺简单,易于批量生产。采用有限元分析软件ANSYS对器件的结构建模,对电磁场及衰减曲线进行了理论分析,并与实测数据进行了比较,得出了相当

设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底1×4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动,微反射镜绕直径100 μm转轴转动,驱动电压为5 V,开关时间小于2 ms,插入损耗小于0.84 dB,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场,进行结构优化设计,并着重介绍开关的实现及性能。

CCD传感器实时检测系统是一套基于光电检测技术的质量监测仪器，可用于实时观测和测量被加工工件，特别适合安装应用于微细电火花加工机床。此系统利用CCD（Charge-Couple Device）传感器对工件进行非接触式测量，提高了微细电火花加工机床的工作效率和质量。此文对这一系统进行讨论，分析了其特点和优越性。