在进行高精度曲率半径测量时, 三点支撑方式会引入测量误差。对该误差进行了理论分析及有限元仿真, 并通过实验对仿真结果进行了验证。结果表明, 支撑形变中的旋转对称误差项导致测量结果失准。在特定实验条件下, 得到的补偿量小于70 nm, 基于此对三点支撑下的曲率半径测量值进行补偿, 可以提高测量精度。