纳米球刻蚀技术和磁控溅射方法在普通玻璃衬底上制备有序氧化锌(ZnO) 纳米阵列。利用扫描电子显微镜对样品表面形貌进行了观测，并对样品进行荧光(PL)光谱测试。结果表明，相比于普通ZnO薄膜，ZnO纳米阵列的有序结构可以提高在紫外区域的发光性能，减少蓝绿光的发射缺陷。研究了不同ZnO纳米阵列粒径大小和不同ZnO纳米阵列的厚度对其光学性质的影响。溅射时间30 min的有序ZnO纳米阵列样品的质量和结晶状态较好，随着聚苯乙烯(PS)纳米球粒径的减小，样品吸收峰和荧光光谱均发生“蓝移”。