相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度，其中小孔的直径是最主要的因素，在实际加工前，需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论，分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下，小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振，给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出，为了获得数值孔径(NA)为0.1，相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005 λ(λ=13.55 nm)，强度均匀性为0.4的参考球面波，对90 nm厚的小孔选择直径