柔性位移研究设计与位移研究的相关传感器的设计报告及设计结论！

柔性物体易于变形，当采用传统的游标卡尺、千分尺测量其外形尺寸时，不仅效率低，而且重复性和稳定性差。基于激光位移检测与光电传感技术，提出了一种用于柔性物体的非接触测量方法。以STC89C52微控制器为核心并利用激光传感器和精密丝杆导轨系统设计了测量装置，根据被测物体遮挡光跳变间隔内丝杆移动的距离确定物体的宽度或外径。一系列柔性物体的测量实验结果表明，实际测量精度可达0.1 mm。这种方法也可用于高温物体的外形尺寸测量。

在惯性约束核聚变装置中，为了实现高精度光束焦点位置调整的目的，采用了基于高精度自动调整反射镜进行光束准直引导的方法，进行了理论分析和实验验证，取得了不同驱动方式下电动反射镜的调整精度数据.结果表明：柔性铰链连接直线微位移驱动机构和旋转轴框，能够有效地消除摩擦和间隙等对精度的影响，该电动反射镜能够在±15 mrad 的运动范围内实现1 μrad 激光光束指向调整分辨率，满足了神光-Ⅲ装置的技术要求。这一结果对大型激光器中高精度光束调整系统的设计是有帮助的。

光栅拼接是解决光栅口径限制的一种有效途径，而光栅拼接的难点是子光栅的精密调整和稳定性保持。为实现子光栅的精密调整，采用了差动螺纹和压电驱动器两级驱动调整机构，子光栅调整精度可达纳米量级；为提高光栅拼接架结构稳定性，对影响光栅拼接架结构稳定性的因素进行了理论分析，根据分析结果,设计了新型的光栅拼接架，采用整体式支撑结构以提高光栅拼接架的固有频率，用柔性铰链代替弹簧以提高子光栅与光栅支撑架的联接刚度，光栅拼接架的稳定性得到大幅提高。经实验测试，拼接架的稳定时间超过1 h，子光栅间相对位移标准差为35