注册会员 | 设为首页 | 加入收藏夹
您好，欢迎光临本网站！[请登录] ！[注册会员]！  

搜索资源列表

  1. 步进电动机高精度细分方法及其控制系统

  2. 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-03-22
    • 文件大小：278kb
    • 提供者：ytao1988

  1. 步进电动机高精度细分方法及其控制系统

  2. 利用步进电机的准确动作和步进电机的细分技术，解决椭偏仪的角度与光强必须准确对应关系的问题。其中，当步进电动机的细分角度越小，越有利于提高步进电动机的角位、点位及连续控制方面的定位精度，越有利于与计算机联机，实现全自动化控制。同时，还可以大大提高步进电机的分辨率，大大改善步进电动机在动态运转时的特性。

  3. 所属分类：嵌入式

    • 发布日期：2012-02-27
    • 文件大小：278kb
    • 提供者：zhzhi418

  1. Scout method

  2. Scout method椭偏仪软件使用的说明书，可以用来进行椭偏光谱分析时使用，具有非常大的用处。

  3. 所属分类：3G/移动开发

    • 发布日期：2014-05-01
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：qq_15026297

  1. 椭偏仪模拟文件

  2. 非常好的软件说明，对于光学薄膜的分析具有重要应用。很值得研究薄膜性质的人来学习使用。

  3. 所属分类：数据库

    • 发布日期：2014-05-01
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：qq_15026297

  1. 步进电动机高精度细分方法及其控制系统

  2. 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2008-11-26
    • 文件大小：1mb
    • 提供者：glacier8687

  1. 步进电机细分原理.pdf

  2. 步进电动机高精度细分方法及其控制系统 叶韦韦 华南师范大学电信工程系 99 级 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。

  3. 所属分类：嵌入式

    • 发布日期：2020-06-09
    • 文件大小：296kb
    • 提供者：qq_40862304

  1. 显示/光电技术中的镀膜控制模式波长

  2. 我们所用的膜层材料为SiNO系材料，图1为镀SiN膜所得的实验结果。曲线1为镀膜前外延片的反射谱，曲线2和3 分别对应膜厚为95 nm和135 nm的情形，膜厚度用椭偏仪测出。从曲线1可知，片子的e－lh峰在840 nm，e－hh峰 在848 nm，模式波长的位置在832 nm。对于常通型调制器，模式波长的位置应在e￣hh峰的长波长方向；而常关型 器件，模式波长的位置应在e-hh峰附近，而且顶部必须镀减反膜，否则器件会工作在饱和区，降低器件的调制特 性。由于模式波长位置不合适，先采用镀SiNO减

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-13
    • 文件大小：65kb
    • 提供者：weixin_38731226

  1. 光电自动补偿的椭偏仪

  2. 本文介绍一种新的电光补偿自动椭偏仪.详细讨论了它的设计原理,并给出SiO_2膜上的测量结果.这种方法可发展成为自动椭偏谱仪.

  3. 所属分类：其它

  1. 提高旋转检偏器式椭偏仪准确度的方法

  2. 本文分析了最常见的影响旋转检偏器式椭偏仪准确度的两个因素.提出了改进的测量方法和测量结果的修正公式,提高了测量准确度并为实验所证实.

  3. 所属分类：其它

  1. 基于非线性最小二乘拟合法的Mueller矩阵椭偏仪

  2. 提出了一种利用非线性最小二乘拟合法自校准测量偏振元件Mueller矩阵参数的新方法。通过测量放入待测样品前后输出偏振态的Stokes参数，建立起由测得的输出偏振态参数、系统未知参数与被测样品的Mueller矩阵之间的函数关系式，使用多参数的非线性最小二乘拟合求解得到待测样品的Mueller矩阵。建立了一套基于铁电液晶波片、旋转波片及偏振片的光谱型Mueller矩阵椭偏仪，并通过自编的Labview自动控制软件实现了智能化测量。误差分析和实际测量结果表明，在600~900 nm波长范围内，Muel

  3. 所属分类：其它

  1. 非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响

  2. 非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响

  3. 所属分类：其它

  1. 可变入射角波长扫描RPA型椭偏仪的研制

  2. 设计制作了一台用同步旋转起偏器和检偏器(转速之比为1:2)测量方式的波长扫描型椭偏仪。由于附加了一个固定偏振器以消除光源的部分偏振性,实验信号包括一个直流成分和四个交流成分,其频率分别为ω0,2ω0,3ω0和4ω0,利用四个交流成分中的任意三个便可以得到材料的复介电函数,实验结果的自洽度优于0.5％。并详细介绍了系统的设计、定标和校正过程,利用该椭偏仪对Au和CdTe样品复介电函数的测量结果与其它报道一致。

  3. 所属分类：其它

  1. 金刚石薄膜红外椭圆偏振参量的计算与拟合

  2. 用红外椭圆偏振仪对热丝化学气相沉积法制备的金刚石薄膜的光学参量进行了测量。由于表面状态和界面特性的差异,分别对镜面抛光硅片和粗糙氧化铝基片上的金刚石薄膜建立了不同的模型,并在此基础上进行了测试结果的计算拟合。为了综合反应诸如表面粗糙度等表面界面因素对测试结果的影响,根据衬底特性将表面层和界面层分离出来,并采用Bruggeman有效介质方法对它们的影响进行了近似处理。结果表明,硅衬底上金刚石薄膜的椭偏数据在模型引入了厚度为879 nm的表面粗糙层之后能得到很好的拟合。而对于氧化铝衬底上的金刚石薄膜

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：823kb
    • 提供者：weixin_38616435

  1. 与消光式兼容的光度椭偏仪的原理

  2. 在PQSA式消光型椭偏仪基础上,把原来方位固定的1/4波片改为旋转波片就可以构成与消光式兼容的新型光度椭偏仪。本文讨论了这种光度椭偏仪的工作原理和计算公式。理论分析指出,这是一种完全的椭偏仪,能唯一地确定的符号,并在测量线偏光的时精度不会下降。文中还报告了进行原理性实验的结果。

  3. 所属分类：其它

  1. 光谱型椭偏仪精确表征非晶吸收薄膜的光学常数

  2. 采用光谱型椭偏仪(SE)和分光光度计分别测量了超薄类金刚石(DLC)薄膜和非晶硅(a-Si)薄膜的椭偏参数（y和D）和透射率T。由于薄膜的厚度与折射率、消光系数之间存在强烈的相关性，仅采用椭偏参数拟合，难以准确得到薄膜的光学常数。如果加入透射率同时进行拟合（以下简称SE+T 法），可简单、快速得到薄膜的厚度和光学常数。但随机噪声、样品表面的轻微污染或衬底上任何小的吸收都可能影响SE+T 法拟合的光学常数的准确性。因此将SE+T 法和光学常数参数化法联用，实现DLC、a-Si薄膜光学常数的参数化，

  3. 所属分类：其它

  1. 基于斯托克斯椭偏测量系统的多点定标法

  2. 斯托克斯椭偏仪可快速测量光束的偏振态，仪器矩阵的精确测量是斯托克斯椭偏仪一项非常重要的技术。为提高仪器矩阵的测量精度，基于四点定标法，提出了斯托克斯椭偏测量系统的多点定标法，并从理论上证明了该方法。在多点定标法的基础上采用六点定标法进行实验验证，结果表明采用多点定标法对系统定标是完全可行的，为斯托克斯椭偏仪的定标提供了新思路。同时六点定标法比四点定标法以及E-P定标法所获得的仪器矩阵更准确，在测量精度方面，该方法获得的斯托克斯参数的总均方根(RMS)偏差为3.15%。

  3. 所属分类：其它

  1. 斯托克斯椭偏仪仪器矩阵在位定标方法

  2. 斯托克斯椭偏仪可以快速测量薄膜材料的光学参数，其仪器矩阵的精确度直接影响系统对薄膜反射光线斯托克斯参量的测量，间接限制了薄膜参数的测量精度。对线偏振光与标准薄膜片产生不同偏振态的机制进行理论推导，并根据四点定标法原理，利用线偏振光与标准薄膜片组合的在位定标方法实现对斯托克斯椭偏仪仪器矩阵的精确测量，有效避免了传统定标方法中光学元件方位角及其不完美产生的误差，进而提高了薄膜光学参数的测量精度。实验表明，采用在位定标方法，薄膜反射光线的斯托克斯参量的测量精度达0.6%，薄膜厚度及折射率的测量偏差分别

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：524kb
    • 提供者：weixin_38683193

  1. 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用

  2. 椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面，描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是：如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知，则可以通过测量光强变化的傅里叶系数，采用最小二乘法原理反演出此时椭偏系统的信息（即校准参数，包括起偏器方位角P，检偏器方位角A，波片起始旋转角Cs，波片位相延迟δ，系统入射角θ0）。利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数，求得未知样品的厚度。该方法具有操作简单、节约成本等优点。分别针对2~6个样品尝试了校准，对该校

  3. 所属分类：其它

  1. 利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪

  2. 光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏仪的方法。该方法通过对多个已知厚度和已知材料特性的薄膜样品进行测量，利用测量得到的多个样品的傅里叶系数光谱与包含未知校准参数的理论光谱之间进行对比，通过最小二乘法拟合，回归求解出整个系统的未知校准参数，包括偏振器方位角，波片延迟，波片方位角和系统入射角等。将该方法的应用领域扩展到200~1000 nm的宽光谱区域，并通过测量3~13 nm的SiO2/Si薄膜样品，实验验证了该

  3. 所属分类：其它

  1. 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法

  2. 针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。

  3. 所属分类：其它

« 12 3 »