模拟退火法及其收敛性 模拟退火法及其收敛性

本书比较全面地介绍了数值计算领域中的各种有效、实用的算法，并以建立这些算法的C语言工程库为目标介绍了相应的C语言程序和编程技巧。本书共分十九章，有近300个C语言程序，除了基本的数值算法外，还介绍了许多更深入的、直接面向应用的算法。 本书适合于工程设计、技术开发和科学研究等领域中从事科学计算和应用软件开发的各类人员，对于大专院校中那些学习数值计算方法和提高C语言编程能力的本科生、研究生也是一本很好的参考书。 本书配有一张软盘，装有书中算法的全部C语言源程序，以及相应的解题实例。有需要的读者，可

深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求，衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg-Saxton (GS)及其改进算法，一般只能通过降低均匀性来提高衍射效率，无法得到最优的解。而全局优化算法如模拟退火法、遗传基因法等需要大量的计算时间，难以实现像素数目多的深紫外DOE 的设计。为了克服上述困难，提出了一种基于GS的混合梯度下降算法，在迭代过程中对每次迭代的振幅进行加权反馈修正，在加快收敛速度的同时，