法布里-珀罗腔被用作高稳定光频振荡器的频率参考。腔长的稳定性会受到由于振动导致的腔体形变的破坏，进而使激光器产生频率噪声。通常采用有限元分析来考察光腔在任意加速度下的弹性形变。推导出了由腔镜的位移和倾斜带来的腔长变化的通用表达式，表达式明确地给出了光腔形变和其导致的振动敏感度之间的关系。根据该方法，分析了一种水平光学腔的振动敏感度，并且通过优化支撑结构降低了光学腔对振动的敏感性。此外，设计了一种小型振动平台，可以在三个相互垂直的方向对腔体施加振动。