系统地研究Z切LiNbO3晶体中质子交换 波导和退火质子交换波导的特性, 得到了质子交换过程中的扩散常数和激活能, 发现了质 子交换波导的折射率呈线性阶跃型的折射率分布。 通过连续退火, 波导的折射率分布由线 性阶跃型向高斯型过渡。 退火可分为两个阶段, 波导深度的增加在第一阶段随退火时间成 指数关系, 第二阶段与退火时间的平方根成线性关系。

比较了四种马赫-陈德尔调制器的结构特性,表明Z切共面波导(CPW)是最好的一种结构。用阶跃倒相电极设计了新型电光光波导幅度调制器,研制了包装式带尾光纤的有5段例相电极的马赫-陈德尔调制器。在1.532 μm波长上,该器件调制带宽为14.8 GHz,半波电压为14 V,消光比为21.3 dB,光纤-器件-光纤插入损耗7.6 dB。

目前，在使用LiNbO3晶体衬底的光波 导中存在的Ti扩散波导的光学损伤问题、质子交换波导的电光效应以及压电效应变 差等问题有待解决。本文报导由于采用了新的元件结构，实现了光学损伤的耐压良好，同时具有高衍射效率特性的波导型光偏转器。