洁净室设计和过滤技术的发展，允许我们又回到敞开式加工区域的建设（见图5.12）, 在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的HEPA过滤器，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔，可使空气无阻碍地流过。 图5.12 洁净室空气层流截面图(国际半导体版权所有) Fresh Air新鲜空气 Fan风扇 Service Chase维修区 Slab Floor混凝土层 Plenum高压区 HEPA Filters HEPA过滤器 Clean Room洁净室 Equip设备 Opt

净化空气方法的选择是洁净室设计的首要问题。每个洁净室都要在洁净程度与建造费用中找到平衡。不论最终的设计如何，每个洁净室的建造都有其基本原则。主要是需要有一个封闭的房间，由非污染物建造并能提供洁净的空气，还包括可以防止由外界或操作人员带入的意外污染。   

在净化工程的建设过程中，制定合适的解决方案至关重要只有适用的无尘室才能更好地匹配生产的需要，保证产品的质量与生产进度为此我们特别注重于客户的沟通，持续改进，提供符合生产需求的解决方案。