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  1. 深度同步辐射光刻初探

  2. LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法，而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展，刻蚀出了外圆直径为38～39 μm，叶长约8 μm，高约25 μm的扇叶状微结构元.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：422kb
    • 提供者：weixin_38626179