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  1. 深蚀刻二元光学元件

  2. 提出一种新颖的、蚀刻位相深度超过2π的深蚀刻二元光学技术，并从理论上分析深蚀刻二元光学元件与衍射效率的关系，然后用计算机进行模拟与分析，得到深蚀刻二元光学元件特性的一些初步研究结果。

  3. 所属分类：其它