为了直接测量远场激光光斑，设计开发了一套基于热释电探测器阵列靶的激光光斑测量系统。针对热释电探测器噪声特性，将探测器响应信号通过前置放大、增益放大、峰值保持、A／D采集等电路处理，最后由主控计算机存储光斑信息，并对光斑图像进行分析处理。通过实际的远场激光测试实验，验证了该设计能够有效测量远场激光光斑。

为了直接测量远场激光光斑，设计开发了一套基于热释电探测器阵列靶的激光光斑测量系统。针对热释电探

光电非接触式测量方法对实现微位移测量具有重要意义，位置敏感器件(PSD)是实现光斑位置探测的传感器件，其探测精度以及基于该器件的数据处理方法直接影响位置测量精度。依据PSD各电极输出的光电流大小反比于入射光位置到各电极之间距离的工作原理，设计了二维激光位置检测系统方案。为了提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和位置探测精度，重点研究了信号调理电路设计、参数匹配、滤波方法与实时并行计算方法。实验结果表明：在±2 mm方形区域内，基于PSD所设计的探测系统单点稳定性精度优于2 μm，能够满足依托项目中