为研究脉冲激光刻蚀聚酰亚胺基底镀金属薄膜过程，采用有限元软件COMSOL Multiphysics构建高斯脉冲激光辐照复合材料的2维非稳态物理模型，通过求解热传导方程计算不同功率激光辐照金属薄膜的温度场分布，讨论不同激光参数对刻蚀进程的影响。模拟结果表明：刻蚀深度主要受激光功率密度的影响，且随着金属薄膜厚度的增加，激光刻蚀深度先减小后保持不变。在刻蚀过程中，为了更好地保护基底，应选择大功率短脉宽的激光参数；由于铜薄膜比铝薄膜更难刻蚀，在铜薄膜的刻蚀过程中应选择较大功率密度的激光。结果有助于理解激

为了研究1064 nm 激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理，采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程，分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程，获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布，进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制。