极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm 的极紫外(EUV)光源，可以轻松突破30 nm 技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能，具有较高的能量转换效率。毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用，耦合出较大面积的极紫外辐射区，从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率，有利于光刻生产。在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上，探讨了激光对耦合光源所起的