空间并行处理是是实现激光快速加工行之有效的方法之一。衍射激光分束器以其设计灵活、效率高而成为激光并行整形的重要技术。针对平面激光加工的并行要求，提出双周期共轭结构的衍射激光分束器结构，获得了高效率、高能量均匀性、模式一致性的二维激光分束器。此外，针对飞秒激光短焦深于长加工深度的矛盾，提出衍射激光纵向激光分束，开展了分束器件的设计和加工，分析了不同加工介质对纵向分束的光强均匀性的影响，并提出改进方法。