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  2. 采用一种新方法,用脉冲CO2激光器获得了掺氢非晶硅薄膜。描述了我们的实验。给出了生长速率与有关实验参数的关系和合适的工作条件;测量和分析了这种薄膜的某些性质。

  3. 所属分类：其它