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  1. 甚大规模集成电路的光学检验

  2. 半导体工业中甚大规模集成(VLSI)的进展同时要求改进光学检验显微术。随着临界线宽尺度的减少，这种要求已日益增长。今天，光学检验显微术对掩模对准和检测、晶片检验、探测、光刻、划线、粘结和包封芯片检验等半导体制造功能是必不可少的。

  3. 所属分类：其它