聚焦、超紫外(UV)激光束已被用于固体表面以产生微米尺度的化学过程。这些过程是以在气体-固体分界面附近的气体分子光致离解开始的。依照有活性的光致碎裂片是与固体作用或者被固体吸附，微观腐蚀或微观淀积分别得以出现。固体的表面性质和气相动力学都对这一过程的定域起一份作用。烷基金属和甲基卤化物已经被用作母体分子以分别产生淀积和腐蚀。聚焦的3毫瓦UV激光对于这两种过程有足够强度产生满意的反应速率。本文探究了这一小规模光化学对微电子学的几个应用。