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  1. 用于硅表面定域快速退火的激光扫描器

  2. 本文介绍一种用计算全息方法制作的激光扫描器,理论上衍射效率可达40%. 扫描矩形面积2×3mm~2,当Ar~+激光功率为4W时,对砷离子注入硅的退火是有效的.

  3. 所属分类：其它