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  1. 用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

  2. 在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125.56μm，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：119kb
    • 提供者：weixin_38702515