日立制作所研制成“扫描光子显微镜”，其原理是：当光照射半导体晶片时，在有结晶缺陷、污染、损伤的部分所产生的表面光电压比正常部存的要低，利用这一现象在晶片上进行光斑扫描，以非接触方式读出各点产生的光电压变化，经数据处理后用与电压值相对应的浓淡图像显示。