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  1. 用准分子激光诱导湿刻实现对GaAs的图形转换

  2. 本文报告的是利用准分子激光诱导湿刻和光刻技术相结合的方法,实现了对GaAs的图形转换。发现由GaAs表面的金膜、水溶液和GaAs构成的系统中,金膜不仅起了光掩蔽的作用,而且还起了促进刻蚀作用。结果说明这是一个电化学光电池结构。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38745859