设计了用SiC作预电离电极的TEA CO2激光器并运行成功.实验研究了该激光器系统参数对激光输出特性的影响,获得了激光单脉冲能量约274mJ、峰值功率密度约780MW/L.在无气体循环、无催化剂的条件下,器件以0.5Hz的重复频率运行105脉冲,以3Hz的重复频率无弧运行104脉冲.