前端非接触电介质电学测试仪是工艺工程师的基本工具之一，它能够每天显示我们关心的电学测试参数，并且当某一参数超过限制时提供警报，显示可能的工艺偏移。在生产中，测试人员对关键工艺提供统计过程控制（SPC），fab靠这些结果来对生产线上的设备和工艺中的圆片做出正确的估计。　　然而，部分是由于缺少好的测试方法，非接触测试仪目前做得并没有市场所期望的那样好。典型的情况是，测试仪的精度比基准圆片的还高，从而导致监控和测量结果没有稳定的参考，而使结果缺乏重复性。这样会很难判断炉管测试结果差，到底是由于炉管的沾