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  1. 基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统

  2.  提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基 础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和 聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向 分辨力5 nm ,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学 表面(如系统中的透镜表面) 干扰信号的影响。
  3. 所属分类:专业指导

    • 发布日期:2009-10-09
    • 文件大小:841kb
    • 提供者:zlshmily
  1. 白光干涉、衍射实验的计算机仿真

  2. 白光干涉、衍射实验的计算机仿真 基于MATLAB的仿真程序实验
  3. 所属分类:软件测试

    • 发布日期:2014-05-19
    • 文件大小:481kb
    • 提供者:hantianye
  1. 白光干涉信号包络拟合算法

  2. 采用自己搭建的白光干涉系统采集一系列白光干涉图,以恢复三维形貌。这里采用包络拟合算法提取干涉信号的峰值。
  3. 所属分类:其它

  1. 基于白光干涉术的厚膜几何参数测试

  2. 基于白光干涉术的厚膜几何参数测试,马龙,郭彤,在过去的二十年间,白光显微干涉术被广泛的应用于微结构的几何参数测试。但是当微结构表面覆盖有透明的薄膜结构时,这种方法将不
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-01-18
    • 文件大小:713kb
    • 提供者:weixin_38719635
  1. 光谱域光纤白光干涉测量技术

  2. 光谱域光纤白光干涉测量技术
  3. 所属分类:其它

  1. 基于光纤白光干涉测量技术的折射率测量仪

  2. 基于光纤白光干涉测量技术的折射率测量仪
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-03-02
    • 文件大小:364kb
    • 提供者:weixin_38747025
  1. 白光干涉色的计算机仿真及应用

  2. 为了得到白光干涉颜色与样品厚度等物理量的对应关系, 研究了给定光程差条件下干涉色的标准计算机表示方法。基于CIE 1931 XYZ色度系统, 由已知的标准照明体相对光谱功率分布, 计算了迈克耳孙干涉仪白光干涉场中每一点的XYZ值, 处理了将其转换为红绿蓝(RGB)系统时出现的负值问题, 实现了颜色的连续性显示。给出了理想波面的白光等厚、等倾干涉图, 并采用真实干涉波面以及实际光源得到了仿真白光干涉图。该方法可以在已知光源光谱功率分布的情况下, 方便迅速地得到干涉场的干涉色分布, 从而为解决玻璃应
  3. 所属分类:其它

  1. 基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统

  2. 提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向分辨力5 nm,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学表面(如系统中的透镜表面)干扰信号的影响。
  3. 所属分类:其它

  1. 白光干涉在保偏光纤测量与对轴中的应用

  2. 本文根据白光干涉原理,研究了保偏光纤偏振色散和耦合系数的测量,保偏光纤连接时主轴夹角的调整,并获得了满意的实验结果.还对白光干涉技术在保偏光纤传感和器件方面的应用作了初步的讨论.
  3. 所属分类:其它

  1. 白光干涉偏振模耦合分布式光纤传感器分析

  2. 分布式光纤传感器能够测量沿光纤长度上连续分布的外界量。用保偏光纤作为传感光纤的分布式光纤传感器,被测外界量引起保偏光纤中传播的两正交偏振模的相互耦合。用迈克尔逊干涉仪两臂光程差来补偿两个偏振模的光程差的方法探测传感信号。为了设计白光干涉偏振模耦合分布式传感器,根据统计光学原理分析了传感器的互相干特性。在此基础上分析了传感器的空间分辨力、光纤耦合点分辨力、最大传感光纤长度。波长1310 nm、谱宽36 nm的超辐射发光二极管(SLD)作光源,用色散参量为600 ps/km,拍长3 mm的保偏光纤的
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-12
    • 文件大小:516kb
    • 提供者:weixin_38703895
  1. 垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征

  2. 随着微机电系统的发展,器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表面轮廓测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上。测量系统采用了米劳显微干涉仪,利用压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向100 μm范围内的精确扫描,并通过傅里叶变换算法获取条纹包络峰的位置,进而得到器件的整体集合尺寸信息,与相移干涉方法相比大大提高了测量范围。通过测量纳米台阶对该系统进行了精度标定,测量重复性在亚纳米量级。最后通过测量微谐振器和微压力传感器的几何尺寸说明了该方法的功能。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-10
    • 文件大小:921kb
    • 提供者:weixin_38723105
  1. 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法

  2. 设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统, 主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析, 结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数, 进一步精确反演得到待测薄膜样品的物理厚度, 使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算, 并对结果进行了详细的精度及误差分析。将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较, 结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差可以小于1 nm。与传统的光度法和椭偏法相比, 提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案
  3. 所属分类:其它

  1. 从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法

  2. 设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到光学薄膜的相位。通过数值模拟的方式论证了理论上的可行性和高计算精度。采用多变量优化的手段进行处理实际测试的一组单层TiO2薄膜,所得物理厚度值与传统的光度法测试反演结果非常吻合。该测试系统和处理算法为快速精确测量光学薄膜厚度提供了一种新的解决方案。
  3. 所属分类:其它

  1. 光纤白光干涉测量术新进展

  2. 与激光干涉测量技术相比,光纤白光干涉(WLI)测量术一个最大的优势是能够绝对测量静态的物理参数。综述了近年来国内外在光谱域光纤白光干涉测量技术领域所做的研究工作,重点阐述各种基于相位测量的光纤白光干涉测量法,包括干涉级次法、傅里叶变换相位法、傅里叶变换相对测量法、波长扫描测量法和相移测量法。其目的是为了解决光谱获取问题、测量分辨率问题和自动测量问题,实现光纤白光干涉测量技术的仪器化和工程化。
  3. 所属分类:其它

  1. 白光干涉光纤法布里珀罗腔的拟合求解

  2. 采用Levenberg-Marquardt算法(LMA)对光纤法布里珀罗(F-P)腔的白光干涉光谱进行拟合;通过对光源光谱的高斯拟合处理和对LMA拟合参数范围的限定,提高了其对光源波动的抗干扰能力和腔长解调的分辨率;通过研究不同质量、数量的采样数据对解调算法的影响,比较LMA相对于相关法的效率优势;最后通过实验得到了装置综合标准偏差(1 nm)和光源功率波动下的LMA算法的标准偏差(0.2 nm)。
  3. 所属分类:其它

  1. 基于白光干涉测量色散补偿薄膜的群延迟色散

  2. 为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机模拟表明此方法测试精度可达0.58 fs2。分析了高斯噪声和光强平均效应对测试精度的影响,并使用此方法对实验制备的Gires-Tournois干涉反射镜和啁啾镜进行了测试,在宽光谱范围内测试误差小于10 fs2。该方法相比其他算法可以更快速、更精确地实现薄膜相位信息的提取,具有更高的测试精度和实用性。
  3. 所属分类:其它

  1. 快速稳定的白光干涉测量法

  2. 为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本, 提高测量速度, 提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型, 对光学干涉法的数学模型进行了推导分析, 确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上, 提出利用加大采样间隔的离散采样点的希尔伯特变换函数提取干涉信号包络算法, 并基于采样原理分析确定了符合算法的采样间隔条件。通过仿真实验对该算法的有效性进行了验证。实际样品的白光干涉光强信号存在直流(DC)偏置噪声, 影响快速白光干涉测量法的稳定性, 因此采用中值滤波法消除背景噪声,
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-07
    • 文件大小:10mb
    • 提供者:weixin_38596413
  1. 利用白光干涉垂直扫描法测量波片延迟量

  2. 将白光偏振干涉、迈克耳孙干涉仪和垂直扫描系统相结合,提出了一种利用白光干涉垂直扫描测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。准直的白光经偏振干涉系统形成两束偏振方向相同的线偏光,它们进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射形成四束光,在压电传感器(PZT)驱动干涉仪动镜垂直扫描的过程中,它们两两干涉,形成3组白光干涉包络。根据CCD各像素记录的白光干涉信号,计算白光干涉包络之间的光程差,即可获取被测延迟量。实验测量了一多级波片的延迟量,其结果(4268.1 nm)与使用光谱扫描法测量得到的结果
  3. 所属分类:其它

  1. 白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法

  2. 为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明,该方法能够准确识别扫描上下限位置。
  3. 所属分类:其它

  1. 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

  2. 提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算
  3. 所属分类:其它

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