介绍了相位掩膜特性对光纤光栅(OFG)性能的影响.理论分析和实验均表明,相位掩膜版的性能直接影响到啁啾光纤光栅功率谱的平坦度以及时延波动的大小,由于时延波动是影响啁啾光栅色散补偿的一个重要因素,因此对掩膜版的性能要求必须十分严格.通过掩膜版的选择以及紫外扫描曝光过程的控制,制作出了高质量的啁啾光纤光栅,时延波动小于20 ps,功率波动小于1 dB.