研究了阵列波导光栅(AWG)制作过程中产生的误差所引起的相位误差对AWG传输特性的影响.非随机误差引起的相位误差使信道的中心波长产生漂移,研究表明波导宽度0.02 μm的变化将引起中心波长漂移0.1 nm.随机误差所产生的随机相位误差将恶化AWG的串扰特性,计算表明,最大随机误差为0.00004 rad/μm时,串扰将增加42 dB.