提出了一种用于立式感应加热MOCVDReact器的传统圆柱状石墨感受器上带有环形凹槽的新型感受器结构，旨在将感受器的内部热量分为两部分，其中一部分蓄积在上部，另一部分积聚在下部的凹槽。 通过使用有限元方法（FEM）优化并验证了改变基座中导热方向的环形凹槽的形状。 与传统的基座相比，优化的基座提高了晶片中温度分布的均匀性，从而提高了生长特性。