最早出现的介质阻挡放电等离子体发生装置由Ｓｉｅｍｅｎｓｔ８－９１于１８５７年研制成 功。该玻璃管式发生器用于产生臭氧，同时也是现代工业臭氧发生器的维形。发 生器采用两个同轴玻璃管设计方案，内外玻璃管分别安装放电电极，而玻璃管间 留有环形气流通道。当电极对气流通道内的空气或氧气放电即可产生臭氧。 １８７９年不列颠协会的威廉？克鲁斯（ＷｉｌｌｉａｍＣｒｏｏｋｓ）［｜０－１１］，他在做气体导电实验 时确认放电管中存在物质的第四态，并具有高温粒子的特性。１８９９年，在前人研