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  1. 类金刚石薄膜的制备、特性及应用

  2. 利用射频等离子分裂碳氢气体制备的类金刚石膜,具有硬度高、耐蚀和良好的透红外光等特性.本文研究了类金刚石膜的红外、机械、结构及电学特性,给出该膜应用于红外装置中镀膜元件的光谱性能.并结合文中所用的制备方法,讨论了类金刚石膜在低温低压下的形成机制.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：1001kb
    • 提供者：weixin_38551837