介绍了用于新型电子束曝光机的30 kV精密高压稳压电源。该电源系统采用了直接调整和间接调整相结合的双闭环调整方案，采用了集中补偿和分散补偿相结合的系统补偿方式，成功地解决了既有高静态精度又有高动态稳定性的问题。为了保证高精度、高稳定性和低纹波电压等技术指标的实现，采取了多项合理的特定电路设计。针对电源系统输出直流高压这一特点，对关键技术采取了针对性的切实有效的技术处理，从而满足了高压电源的高可靠性和长期高稳定性的性能要求。各项技术指标均达到或超过原设计要求。