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  1. 紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器

  2. 本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.

  3. 所属分类：其它