为了减少聚焦反射过程中的极端紫外阿秒脉冲能量损失和由脉冲聚焦像差引起的测量误差，并提高脉冲光谱监测的可操作性，提出了一种组合式聚焦和平场光谱仪分析系统，用于阿秒脉冲。通过逐步优化性能进行设计。 聚焦和光谱分析组件分别是镀金的入射到环形镜的掠入射和掠入射的凹面聚焦光栅。 详细给出了系统的特征参数。 所提出的系统可以在以高能短阿秒脉冲为基本探测工具的阿秒光谱研究平台中找到应用。