孙 捷（中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室, 北京 100083）摘要：随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限，具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展，并对待解决的问题和发展前景作了分析。 关键词：微电子工艺；量子特性；自组装半导体量子点；纳米电子器件 中图分类号：TN304.01 文献标识码：A 文章编号：100