对大气臭氧探测激光雷达出现硬件故障时的回波特征进行了分析。根据回波形态和雷达强度等, 采用基于模糊逻辑的质量控制方法, 对雷达硬件故障数据进行了识别检验, 识别率高达93%, 即能较好地实现对硬件故障数据的质量控制。比较了硬件故障时的数据和被误判的正常数据在300～500 m高度上对应的臭氧浓度和信噪比均值, 找出统计特性, 降低了对正常数据的误判率。