对高功率激光系统中使用的衍射光学元件(DOE)在束匀滑时产生的表面反射光场进行了模拟计算。计算表明, 随着传输距离的增大, 反射光由于干涉叠加会产生一定数量的光强极值点, 有可能会对前端元件造成损伤。因此, 在高功率激光系统应用中, 有必要对元件进行一定角度的倾斜放置, 从而使反射光偏离前端元件。通过模拟计算分析了衍射元件放置时, 倾斜角度对各项束匀滑指标的影响, 发现匀滑性急剧变差, 并在实验上观察到了相应的定性结果。设计了相位补偿方法, 以保证倾斜放置下衍射光学元件的束匀滑能力, 并给出了相