表面活性剂文献，氨基酸表面活性剂中链长度的脂肪酰氯，木质素的提纯

聚氧乙烯醚磺酸盐类表面活性剂是在磺酸盐型表面活性剂的疏水基与亲水基之间嵌入含有聚氧乙烯链段的新型表面活性剂。根据国内外相关文献报道,对聚氧乙烯醚磺酸盐类表面活性剂的合成工艺与性能研究进行了综述,并探讨了这类表面活性剂在原油开采中的应用前景。指出该类表面活性剂进一步研究的重点:开发和设计聚氧乙烯醚磺酸盐类表面活性剂的绿色合成工艺路线,以便工业化生产;加强疏水基团类型和EO链节数目对该类表面活性剂性能的影响研究,寻求综合性能较合适的疏水基团和EO链节数目组合;研究聚氧乙烯醚磺酸盐类表面活性剂与其他表

贺开矿 （杭州士兰集成电路有限公司， 杭州 310018） 摘要：叙述了表面活性剂的性质、分类、分子结构特点，重点介绍了表面活性剂在光刻工艺的涂胶、显影、湿刻工序中的应用。适当加入表面活性剂，在现有设备的条件下可极大地提高光刻质量，对双极电路以及CMOS电路制作都有着重要的现实意义。 关键词：表面活性剂；表面张力；光刻；显影；湿法腐蚀 中图分类号：TN305.7 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2005)03-0024-03 1 引言 在液体内部，分子受到邻近分子间的