角度测量是几何量计量技术的重要组成部分，广泛应用于工业、军事、航空、 航海以及通讯等各种领域。随着纳米测试技术的进一步发展，高精度高分辨率小 角度测量方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。现阶段由于运用了各种先 进的测量手段和仪器使测量准确度和精度达到了很高的水平。但是，传统的小角 度测量仪器如激光干涉仪，光电自准直仪等，由于具有体积大、系统复杂、造价 昂贵、对测量环境要求高、较难组成多维测角系统等特点而很难用于工业高精度 在线测量。 本课题就是在这样的背景下提出来的。为了解决上述问题本课题

目录 前言 第1章 绪论 1 1.1 机械运动控制系统的内容与分类 1 1.1.1 机械运动控制系统的定义、由来与内容 1 1.1.2 机械运动控制系统的分类 3 1.2 机械运动控制系统的应用 6 1.2.1 运动规划 6 1.2.2 多轴插补 7 1.2.3 电子齿轮与电子凸轮 8 1.2.4 比较输出与同步跟踪 8 1.2.5 精密探针位置测量 9 1.3 机械运动控制系统中的非线性及其补偿 10 1.3.1 机械运动控制系统中的连续与不连续非线性 10 1.3.2 机械运动控制系统中

角度位移传感器就是通过利用测量其他物理量来间接测量角度的一种仪器，角度传感器采用高性能智能集成磁敏感元件，将机械转动或角位移转化为电信号输出，非接触测量。产品具有无触点、无噪声、高灵敏度、高重复性、接近无限转动寿命、高频响应特性好。环境适用性强，可用于水、油、汽、粉尘、高低温、振动冲击等恶劣工业使用环境。360°绝对位置测量，是替代光学编码器、旋转变压器、导电塑料电位器的理想产品。