超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光 滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评 价方法等进行了介绍。同时描述了超精密抛光的发展阶段、现状和发展趋势。

超光滑表面在现代光学领域的应用愈来愈广泛，相应的超光滑表面加工技术也就成为超精密加工技术的重要组成部分。介绍了超光滑表面的特点，对其加工技术进行了分类比较，认为非接触式加工方式是获得超光滑表面的理想方法。对国内外现有超光滑表面加工技术的发展进行了归纳总结，详细阐述了各种技术的加工原理、加工精度及应用范围等。指出了国内超光滑表面加工技术与国际先进水平相比存在的差距，并分析了超光滑表面加工技术的发展趋势。

阐述了超光滑表面的物理概念及在现代科学技术中的重要意义，同时系统介绍了超光滑表面加工技术国内外现状及各种加工术的原理和方法．这对于我们了解在该技术领域国际发展动向及促进国内光学工艺技术的提高和发展有积极作用。当前，我国在强激光、光电子、X射线激光和空间光学等高科技领域对超光滑表面的获得提出了迫切要求．而我们光学工艺现状还不能满足科学技术发展的需要，因而适时地进行这方面的研究工作是非常紧迫的任务。