在本文中，我们提出了超疏水的微/纳米双重结构（MNDS）。 通过对硅进行KOH蚀刻，首先设计出具有特定几何尺寸的设计精良的微结构，包括倒金字塔和V形凹槽。 然后通过改进的可控的深React离子刻蚀（DRIE）Craft.io在没有掩膜的情况下，在微结构顶上形成由高致密的高纵横比纳米柱制成的纳米结构，从而形成MNDS。 由于最小化的液体固体接触面积和DRIE过程中沉积的顶部碳氟化合物层的结果，MNDS显示出可靠的超疏水性。 接触角和接触角磁滞分别类似于165和小于1度。 根据挤压和跌落测试，MND
