提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析，构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之间的线性模型，并基于该模型实现了高阶波像差的检测。与使用六角度孤立空检测标记的传统方法相比，本方法提高了光瞳面波前的采样效率，拓展了波像差检测范围，实现了超高NA光刻投影物镜高阶波像差(Z5~Z64)的高精度检测。光刻仿真软件PROLITH的仿真结果表明，该方法可实现60项泽尼克系数(Z5