激光产生的等离子体能为分档器提供高度有效和髙费效比的χ射线源。使用髙强度红外固体激光器，等离子体能在晶片中产生高光谱亮度和高强度(大于20 mW/cm2)。将钕玻璃激光器的1060 nm输出聚焦到金属靶上,就产生由中性原子、自由电子及离子组成的极稠密等离子体。等离子体中的中性原子与高峰值功率激光脉冲相互作用，导致多光子吸收，并产生高度受激的束缚电子。自由电子跟离子复合以及受激电子衰减到较低的能级就产生X射线。