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  1. 软X射线相位型聚焦波带片的研制

  2. 软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件。以激光全息离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩模,利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技术在聚酰亚胺衬底上,分别制作出了镍和锗的软X射线相位型聚焦波带片。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：390kb
    • 提供者：weixin_38550722