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软X射线荧光吸收谱测试方法的建立与应用
提出一种基于主成分分析法的装调方案;对理想的离轴三反系统的灵敏度矩阵进行处理,以获得系统失调量对残余像差敏感度的权重值,通过去除敏感度低的调整量来制定合理的装调方案;基于逆向优化法的计算机辅助装调技术原理,进行模拟装调及装调方案的验证.结果表明:采用所制定的装调方案可使装调精度达到10-7量级,调整量从11个减少到6个,装调难度降低,光机结构的稳定性得到提高.
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-11
文件大小:8mb
提供者:
weixin_38696176