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  1. 边缘倒角和抛光

  2. 边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械工艺（图3.23）。应用化学抛光进一步加工边缘，尽可能的减少制造中的边缘崩边和损伤，边缘崩边和损伤能导致碎片或是成为位错线的核心。   

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：16kb
    • 提供者：weixin_38678300

  1. 晶圆制备关键术语和概念

  2. 关键术语和概念 晶体 籽晶 晶胞 熔融物 多晶 晶体生长 单晶 直拉法 晶体定向 区熔法 晶面 液体掩盖直拉法 晶面 晶圆参考面 点缺陷 晶圆参考面代码 晶体位错 化学机械抛光 原生缺陷 背损伤 边缘倒角 切片 滑移 空位   

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：18kb
    • 提供者：weixin_38603259