提出了一种精确评估光学薄膜损伤阈值的方法。放大的自发辐射（ASE）光源由于时间相干性和空间相干性较差，所以在近场区域光场强度分布均匀，聚焦后远场也没有被非均匀调制。采用ASE光束作为光学元件损伤阈值测试的辐照光源，可以提高辐照光源的均匀度，实现对光学薄膜损伤阈值的精确评估。ASE光源由神光II高功率激光装置的一级钕玻璃棒状放大器输出，脉宽经过光电开关调制后为9 ns，能量输出在几毫焦耳到几十焦耳范围内可调节，光谱半峰全宽（FWHM）为1 nm。根据标准ISO-11254，实验获得ASE测试TiO